联系我们

联系人:(先生)

联系手机:15201951076

固定电话:5046-1322

企业邮箱:marketing@hakuto-vacuum.cn

联系我时,请说是在牵牛钢材网上看到的,谢谢!

今日最新资讯
热门资讯
牵牛钢材网资讯
    hakuto 离子刻蚀机 20IBE 刻蚀滤波器钽酸锂晶片
    发布者:bdqysh  发布时间:2020-12-14 15:39:11  访问次数:72

    安徽某晶体厂商采用 hakuto 离子刻蚀机 20IBE-J 刻蚀滤波器钽酸锂晶片采用间歇式离子束刻蚀方法,解决了刻蚀区微裂纹工艺问题使厚度为60μm钽酸锂晶片减薄至30μm.

     

    Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 技术参数:

     

    Φ4 inch X 12

    基片尺寸

    Φ4 inch X 12

    Φ5 inch X 10

    Φ6 inch X 8

    均匀性

    ±5%

    硅片刻蚀率

    20 nm/min

    样品台

    直接冷却,水冷

    离子源

    Φ20cm 考夫曼离子源

     

    Hakuto 离子刻蚀机 20IBE-J 的核心构件离子源采用的是伯东公司代理美国 考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的射频离子源 RFICP220

    伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:

    离子源型号

    RFICP 220

    Discharge

    RFICP 射频

    离子束流

    >800 mA

    离子动能

    100-1200 V

    栅极直径

    20 cm Φ

    离子束

    聚焦平行散射

    流量

    10-40 sccm

    通气

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型压力

    < 0.5m Torr

    中和器

    LFN 2000

     

    晶体滤波器的用途越来越广泛, 尤其在通信机和雷达设备中, 都需要高频率、大带宽的晶体滤波器目前,晶体滤波器使用的主要材料是石英晶体, 由于其具有高品质因数(Q)值、良好的温度稳定性和时间稳定性, 在精度要求很高的窄带滤波器中具有很大的优越性.

     

    若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

    上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

    伯东版权所有翻拷必究!

免责声明:牵牛钢材网转载作品均注明出处,本网未注明出处和转载的,是出于传递更多信息之目的,并不意味 着赞同其观点或证实其内容的真实性。如转载作品侵犯作者署名权,或有其他诸如版权、肖像权、知识产权等方面的伤害,并非本网故意为之,在接到相关权利人通知后将立即加以更正。联系电话:0571-87774297。
0571-87774297