| 详细介绍： 供应万濠Rational纳米白光干涉仪AE-100M
用途:
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光盘/影碟、精密微机电组件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC封装、材料分析与微表面研究等。
产品特点:
1.奈米深度3D检测
2.高速/无接触量
3.表面形状/粗糙度分析
4.非透明/透明材质皆适用
5.非电子束/非雷射的安全量测
6.低维护成本
专业级的3D图形处理与分析软件（Post Topo）
1.提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析
2.提供自动表面平整化处理功能
3.提供高阶标准片的软件自校功能
4.深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
5.线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度
6.（waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据（Wafer）
7.区域分析方式提供图形分析与统计分析
8.具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能
9.量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本档格式输出
高速精密的干涉解析软件(ImgScan)
1.系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹
2.垂直高度可达0.1nm
3.高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果
4.垂直扫描范围的设定轻松又容易
5.有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择
6.平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利
7.具有手动/自动光强度调整功能以取得最佳的干涉条纹对比
8.具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择
9.具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌
10.具有自动布补点功能
11.可自行设定扫描方向
技术规格参数:
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型号
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AE-100M
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移动台(mm)
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平台尺寸100*100 ，行程13*13
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物镜放大倍率
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10X
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20X
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50X
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观察与量测范围
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0.43*0.32
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0.21*0.16
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0.088*0.066
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光学分辨力(um)
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0.92
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0.69
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0.5
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收光角度(Degrees)
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17
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23
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33
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工作距离
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7.4
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4.7
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3.4
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传感器分辨率
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640*480像素
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机台重量(kg)/载重kg
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20kg/小于1kg
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Z轴移动范围
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45mm , 手动细调
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Z轴位置数字显示器
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分辨力1um
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倾斜调整平台
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双轴/手动调整
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高度测量
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测量范围
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100（um)(400um ,选配)
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量测分辨力
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0.1mm
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重复精度
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≤ 0.1％ (量测高度:>10um)
≤10um(量测高度1um 10um)
≤ 5nm(量测高度:<1um )
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量测控制
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自动
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扫描速度(um/s)
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12(最高)
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光源
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光源类型
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仪器用卤素（冷）光源
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平均使用寿命
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1000小时100W 500小时（150W）
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光强度调整
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自动/手动
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数据处理与显示用计算机
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中央处理运算屏幕
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双核心以上CUP
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影像与数据显示屏幕
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17 " 双晶屏幕
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操作系统
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Windows XP(2)
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电源与环境要求
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AC100 --240 V 50-60Hz
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环境震动
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VC-C等级以上
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测量与分析软件
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量测软件
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ImgScan 具VSI/ PVS/PSI 量测模式（PSI量测模式需另选配PSI模块搭配）
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分析软件
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ISO粗糙度/阶高分析,快速传利业转换和滤波,多样的2D和3D观测视角圆,外形/面积/体积分析,图像缩放,标准影像文件格式转换,报表输出,程序教导量测等.
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