等离子体质量和能量分析仪
等离子体质量和能量分析仪
产品价格:(人民币)
  • 规格:完善
  • 发货地:本地至全国
  • 品牌:
  • 最小起订量:1
  • 免费会员
    会员级别:试用会员
    认证类型:企业认证
    企业证件:通过认证

    商铺名称:北京英格海德分析技术有限公司

    联系人:郑喜重()

    联系手机:

    固定电话:

    企业邮箱:

    联系地址:北京市海淀区四季青路8号郦城工作区235

    邮编:

    联系我时,请说是在牵牛钢材网上看到的,谢谢!

    商品详情

      产品简介

      品牌 价格区间 产地类别 应用领域
      其他品牌面议
      进口综合

      Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪是一台结合质量和能量分析的仪器(Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics),用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。

      详情介绍

      Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪应用:

      · 刻蚀 / 沉积作用研究
      · 离子植入 / 激光烧蚀
      · 残余气体分析 / 泄漏检测
      · 等离子体电极耦合,即在操作中遵从电极设定条件
      · 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析

      Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪特点:

      · 软件控制的离子汲取光学系统,以使等离子体扰动z小
      · 45°静电扇区分析器,扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
      · 所有能量范围内,离子行程的z小扰动,及恒定离子传输
      · 带差式泵的三级过滤四极杆,质量数范围至2500amu
      · 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器,有7个数量级的动态范围
      · 可调谐的离子源,用于电子附着选件的表观电势质谱分析
      · Penning规和互锁装置可提供过压保护
      · 信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化
      · 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
      · Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
      · 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,控制软件MASsoft。 

    在线询盘/留言
  • 0571-87774297