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半导体设备用静电卡盘静电夹持卡盘基于电容技术同时可以整合基片的冷却和加热。用于PVD，CVD, 干法刻蚀，离子植入等设备。

详情介绍

半导体设备用静电卡盘

 

　北京朗铭润德光电科技有限公司是一家在半导体微电子、高精密光学镀膜领域，光伏、光热、锂电池等新能源领域以及窗膜、汽车膜、柔性电路板等行业提供专业相关工艺设备的代理公司。
 　　从2006年起与德国著名微电子设备专业厂家FHR公司开始合作，并于2008年成为其中国区的代理机构。通过我们的合作，使 FHR的产品逐渐进入中国，并成为国内镀膜设备的供货商。
 　　我们于 2010 年在北京石景山中关村高科技园区成立了专业代理国外微电子半导体及相关设备的北京朗铭润德光电科技有限公司，并与*技术供货商建立合作关系，为公司全面化运转及操作奠定了良好开端。

ECM是一个拥有30多年成功的技术公司。公司具有一支创新型PVD，CVD，热/室温/低温，离子注入，刻蚀等检测队伍。依靠完整的热解决方案，包含加热/冷却基座/BSG整治线小型或大批量生产能力，通过高质量产品和生产工艺一致性，成为客户满意的生产单位。北京朗铭润德光电有限公司作为ECM公司E-Chucks静电夹持卡盘设备的代理，为中国的广大客户提供完善的技术支持和售后支持。

半导体设备用静电卡盘

产品用途:静电夹持卡盘基于电容技术同时可以整合基片的冷却和加热。用于PVD，CVD, 干法刻蚀，离子植入等设备。

品牌：ECM

型号：E-Chucks

适用衬底材料:硅，三五族化合物半导体和绝缘体等。

适用衬底尺寸: *大450mm直径基片。

可根据客户要求定制。

合作客户部分名单:

Evatec、Lam、0xford、Sentech、Applied materia1s、A1cate1、Oerl1ikon、Acia system、SPTS、HMI、CAMECA、Po1yteknik、Samsung等