产品规格，纯度可按客户要求定制

碳化物靶材Carbide Sputtering Targets：  

碳化铝Al4C3;碳化硼B4C;碳化铬Cr3C2;碳化铪HfC;碳化镧LaC2;碳化钼Mo2C;碳化铌NbC;碳化镍Ni3C；碳化硅SiC;碳化钽TaC;碳化钛TiC;碳化钒VC;碳化钨WC;碳化锆ZrC； 

氟化物靶材Fluoride Sputtering Targets： 

氟化钡BaF2;氟化钙CaF2;氟化锂LiF;氟化镁MgF2;氟化钠NaF; 氟化稀土（氟化镧LaF3;氟化铈CeF3;氟化钐SmF3;氟化钆GdF3;氟化铽TbF3;氟化镝DyF3;氟化钬HoF3;氟化铒ErF3;氟化镱YbF3;氟化钇YF3;氟化钪ScF3） 

硅化物靶材Silicide Sputtering Targets ：

二硅化钴CoSi2;二硅化铬CrSi2;二硅化铪HfSi2;二硅化钼MoSi2;二硅化铌NbSi2;二硅化镍NiSi2;二硅化钽TaSi2;二硅化钛TiSi2;二硅化钒VSi2;二硅化钨WSi2;二硅化锆ZrSi2；