格里尔斯GRYLLS-C-310系列模拟量质量流量计/控制器（小量程）技术参数：

量程范围：5SCCM ～ 30SLM

准确度：±1.0F.S

温度：±1℃

线性：±0.5F.S

重复精度：±0.2F.S

响应时间 lt;2s <1.5s

模拟量：0 ～ 5V、4 ～ 20mA

供电：±15VDC，24VDC

工作温度：0 ～ 50℃

工作压差：0.05 ～ 0.5MPa?

工作压降 lt;30Kpa

耐压：3MPa/10MPa

电气连接：DB15 孔

漏率：1×10-9SCCSHe

温度系数：±0.015F.S/℃

底座材质：316L

密封材质：氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶

接头：φ3，φ6，1/8"，1/4"

GRYLLS-C-310系列 采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。