MODEL 3200系列是新型质量流量控制器，是3910系列的后续产品，已在半导体，液晶，燃烧，分析和生物等广泛领域得到验证。
它是一种适用于新Cofflock标准的高性能型号。

• 配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应
• 采用常闭阀门，方向操作安全
• 采用隔膜阀，减少死体积
• F.1. SCCM分钟流量支持（SR选项）
• 低压差兼容燃气控制（LP选项）

标准规格

流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（任意条件选择）
传感器方式		热绕组传感器
阀门方法		比例螺线管阀门（未通电时关闭）
控制范围		2~100％（F.S.）
响应速度		1秒内（±2％FS内）
准确性		±1％FS（15~35°C）
再现性		±0.2%F.S.
操作压差范围		F.S.≤5SLM 50. 300 kPa（G）
		F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa（G）
		选项：低压差规格（LP）可根据条件制造
可工作压力		300kPa（G）以下
耐压		980kPa（G）
He泄漏率（* 1）		1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度		0~50℃
允许环境湿度		10~90%RH（无结露）
气体接触材料		车身SUS316L
		隔膜SUS316
		阀座PTFE
电气连接		Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）
流量设定 输入信号		0~5VDC （输入阻抗1MΩ以上）
流量输出信号		0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
所需电源		+15 VDC（±5％）100 mA，-15 VDC（±5％）200 mA
配件（车身尺寸）		标准1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等
重量		约1000g

（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。

尺寸图