单晶炉氩气质量流量控制器美国ALICAT艾里卡特性能
- 可用量程：
选择任意三台量程不超过1500 slpm（PCU和PCUS）或者250 slpm（PCUW）的流量计
所有流量计均配有流量累加器
- 可调比：高达1,000,000：1（3台仪表综合可调比）
- 校准精度高（NIST可溯源）（PCU标准精度）：±0.4%读数+0.2%满量程
- 可重复性：0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数：5-10ms
- 无需预热时间
商铺名称：北京芯笙微纳电子科技有限公司
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商品详情
- 多功能。配有简单的推动连接接头或可选配压力接头，综合可调比高达1,000,000：1（例如1 sccm – 1000 slpm）的量程，可快速校准多台仪表。
- 准确。实时测量并完成流量累加，具有NIST可溯源精度（0.4%读数+0.2%满量程），适用于低至满量程1/200th的各种气体，还可利用COMPOSER?气体编辑器自定义您自己的气体组成。
- 耐用。PCU系列便携式气体流量校准仪将流量计集成到一个耐用型硬质箱子内，且能抵抗坠落带来的影响。
单晶炉氩气质量流量控制器美国ALICAT艾里卡特，请考虑使用PCU系列便携式气体流量校准仪。艾里卡特的PCU系列便携式气体流量校准仪是二级校准标定仪，将三台量程不同（1500
slpm）的高精度流量计以及累加器集成到一个耐用的工业箱内，方便携带。PCU系列便携式气体流量校准仪可采用两个9伏的蓄电池或者随附AC线缆供电，还配有艾里卡特Flow Vision SC?软件。
PCU系列便携式气体流量校准仪还有我们的Whisper系列低压损配置型号（即PCUW系列）以及可用于腐蚀性气体的316L配置型号（即PCUS系列）。
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