精密微加工之 ?飞秒激光加工设备

产品应用：

●? OLED模组切割·

●? 5G天线模组切割（LCP/MPI）

●? FPC材料切割/打孔

●? ITO钻孔/划线

●? 半导体材料切割/划线

●? 玻璃,蓝宝石切割/钻孔

技术参数

激光波长??????????????????????????? 515nm

激光功率 ???????????????????????????50W

?脉冲宽度 ?????????????????????????? ?????300fs-10ps

?峰值功率 ??????????????????????????????? ?300MW

?脉冲能量????????????????????????????????? 100μJ

运动平台??????????????????????????? X-Y-Z伺服(直线)电机

加工尺寸范围?????????????????????? 400x400mm

切割速度(X/Y轴)???????????????? 50mm/s

快速移动速度(X/Y/Z三轴)???????????? 200mm/s

定位精度?????????????????????????? ±0.003mm

方形尺寸精度?????????????????????? 0.02mm

真圆度???????????????????????????? 0.015mm?

使用电源?????????????????????????? 380V/50Hz/5kW

整机重量?????????????????????????? 2000kg

激光安全等级?????????????????????? Class IV

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功能特点

◆全封闭一体式设计，外观简洁新颖

◆符合人体工学的工位设计，人机界面友好

◆采用旁轴CCD相机辅助定位系统，提高工件定位精度

◆特殊定制激光切割头采用正压密封装置，降低加工环境对激光切割头的损伤，有效的延长其使用寿命

◆非接触式加工，对加工材料无机械应力，能加工异形及微型孔

◆特殊定制工装，采用负压吸附方式同时兼顾方便废料收集

◆工作过程全密封，专用吸尘除尘设施，花岗石机座，整体横梁立柱结构设计

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