瑞士LEVITRONIX增压套件LEVIBOOST?140厂家直售

高达140 l / min?高达37 gpm

在UPW的微电子世界压力变化中，去离子水和化学品供应线可能成为工具和流程的问题。越来越多的复杂制造需要高度恒定的入口压力，以保持敏感的内部工具操作在预期的工艺窗口内。因此，任何压力波动都可能降低工艺产量。

基于不断增加的成本，压力水系统和化学品供应系统经常被设计成其极限。因此，我们发现不稳定的介质供应系统，系统和流程无法控制 - LEVIBOOST?保证稳定和准确的使用点压力，无需额外的基础设施投资。

无源设计组件，如压力调节阀，往往会在一定程度上协调压力波动，但是，它们会导致额外的压力损失和不希望的颗粒脱落 - LEVIBOOST?提供恒定的系统压力至±1.5psi（0.1bar），最高10,000倍的颗粒脱落行为。