电子工业是VOCs排放的主要行业之一，电子工业废气VOCs排放种类有30多种，组分复杂。电子工业废气VOCS主要来源于对电子产品的表面涂层工艺环节所用溶剂型涂料和清洗工艺环节所用有机溶剂所致。一般来说，废气排放中风量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点，电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。

电子厂废气处理方法

（1）预处理阶段：一般采用喷淋塔先对废气进行预处理，去除粉尘以及易溶于水的有害气体。

（2）主要处理阶段：在此阶段，比较常见而有效方法有：UV光解，生物过滤分解，焚烧和催化燃烧等。

这几种方式各有优劣，根据大多数电子厂废气的情况，在这里我们主要推荐和介绍活性炭浓缩+蓄热式催化燃烧系统去除VOCs气体的方案。

活性炭浓缩+催化燃烧法简介

（1）活性炭浓缩

1. 即采用活性炭吸附装置来对废气进行浓缩。由于电子厂废气具有风量大，浓度低的特点，而催化燃烧系统在启动运行时，对能源的消耗较大，如果预处理后的气体先通过活性炭吸附到达一定浓度后，再进入催化燃烧系统，相对于直接进入催化燃烧系统，将可以大大的节省能源的消耗。
2. 活性炭吸附器又可称为活性炭吸附器、活性炭吸附过滤器、活性炭吸附箱。是一种废气过滤吸附异味的环保设备产品，活性炭吸附塔塔体可用不锈钢、碳钢、PP板等材质制作。活性炭吸附塔具有吸附效率高、适用面广、维护方便、能同时处理多种混合废气等优点，活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等有害气体和消毒除臭等作用。
3. 有机废气气体由风机提供动力，正压或负压进入活性炭吸附器塔体，由于活性炭固体表面上存在着未平衡和未饱和的分子引力或化学健力，因此当此固体表面与气体接触时，就能吸引气体分子，使其浓聚并保持在固体表面，污染物质从而被吸附，活性炭吸附到一定时间后，即可进入脱附流程，脱附后的气体即是浓缩后的vocs气体

（2）蓄热式催化燃烧系统(RCO)

1. 催化燃烧是典型的气—固相催化反应，它借助催化剂降低了反应的活化能，使其在较低的起燃温度200～ 300℃下进行无焰燃烧，有机物质氧化发生在固体催化剂表面
2. 同时产生CO2和H2O，并放出大量的热量，因其氧化反应温度低，所以大大地抑制了空气中的N2形成高温NOx。而且由于催化剂有选择性催化作用，有可能限制燃料中含氮化合物(RNH)的氧化过程，使其多数形成分子氮(N2)。
3. 蓄热式催化燃烧，相对于普通的催化燃烧设备，增加了热量循环装置，设备启动一定时间后，可大大降低对电量的消耗，为工厂省下大量的电费。

文章来源：东莞市中仁环保科技有限公司

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